空洞共振器法とは？

マイクロ波帯における平板状誘電体試料を測定するための方法で、JIS R1641(2002)およびIEC 62562(2010) として制定されています。
この方法は、マイクロ波帯における誘電体基板の面方向の複素比誘電率を測定するために開発され、2002年にJISR1641として制定され、
さらに2009年にIEC62562として正式に国際標準規格化されるに至りました。
下図にその構造図を示します。

この構造は、導体円筒空洞を２つに分割しその間に誘電体基板を挟んで共振器を構成するため、測定試料の着脱が容易であり、非破壊測定に有効です。
e_r はTE₀₁₁モードの共振周波数f₀ の測定値より、tand は無負荷Q, Q_u の測定値より求められます。